光学检测高级培训

课程大纲：

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一、光学检测的理论、技能及常规检测技术

1、光学检测的发展历史回顾

2、光学检测的物理基础和计量基础

3、光学检测的能力要求

4、光学材料与元件参数的检测技术

5、光学系统性能的检测技术

6、半导体芯片纳米制造业中的在线光学检测

二、激光共焦/干涉测量新技术及其应用

元部件参数的高精度、快速检测是高性能制造的关键所在，

激光共焦测量技术由于具有光学邻域独特的高分辨、高层析和抗散射能力，

近年来在光学元件测量领域开始广泛应用，特别是共焦测量技术与干涉测量技术的有机结合，

显著提升了光学元件的测量精度、测量速度、抗散射能力以及多参数测量能力效率，

使我们在一台仪器上首次实现了球面元件面形、曲率半径、折射率、透镜中心厚度、焦距及间隔等参数的高精度高效测量等，

应用前景广阔。本专题将从共焦测量和共焦-干涉测量新原理讲解出发，系统讲述测量系统的构建及其典型应用实例，具体包括以下几节：

1、激光共焦显微技术对科学技术研究的推动作用

2、激光差动共焦显微成像技术及应用

3、激光差动共焦干涉元件参数测量技术及应用

4、激光差动共焦光谱联用成像技术及应用

三、光干涉检测技术

1、干涉基础知识

1）干涉测量基础知识

2）典型干涉仪介绍

3）移相干涉技术

2、激光干涉仪及应用

1）平面干涉仪及其应用

2）球面干涉仪及其应用

3）非球面干涉检测技术

3、波前的干涉检测技术